自動晶圓化學(xué)鎳鈀金設(shè)備
* 設(shè)備型號:SCS-04-HD01
* 整機(jī)尺寸:約 9300mm(L)×2350mm(W)×2700mm(H)
* 操作臺面高度:950±50mm
* 兼容12inch與8inch wafer
* 全自動運行,foupin-foupout
* dry in- dry out
* 不銹鋼SUS316骨架,包覆NPP,結(jié)實且耐腐蝕
* 工控機(jī)+PLC控制,系統(tǒng)穩(wěn)定
* Windows操作系統(tǒng),簡單方便
* 具備自動添加功能
* 整機(jī)尺寸:約 9300mm(L)×2350mm(W)×2700mm(H)
* 操作臺面高度:950±50mm
* 兼容12inch與8inch wafer
* 全自動運行,foupin-foupout
* dry in- dry out
* 不銹鋼SUS316骨架,包覆NPP,結(jié)實且耐腐蝕
* 工控機(jī)+PLC控制,系統(tǒng)穩(wěn)定
* Windows操作系統(tǒng),簡單方便
* 具備自動添加功能
應(yīng)用領(lǐng)域
微電子產(chǎn)品封裝,TSV,RDL
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產(chǎn)品特點
蘇科斯化學(xué)鎳鈀金設(shè)備,采用化學(xué)的方法,在印制線路銅層表面沉上一層鎳、鈀和金,其主要工藝流程是除油—微蝕—預(yù)浸—活化—沉鎳—沉鈀—沉金—烘干。