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半自動(dòng)晶圓腐蝕清洗機(jī)
工藝說明
非標(biāo)訂制設(shè)備,全機(jī)PP滿焊接完成;
手臂可同時(shí)兼容4寸 ,6寸,8寸,12寸花藍(lán)
制程工藝:三酸(鎳刻蝕硫,酸,BOE),三水(QDR*3)或根據(jù)要求定制
此臺(tái)設(shè)備為半自動(dòng)設(shè)備,由人員上下料,顆粒清洗則由設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行;
控制系統(tǒng)由PLC控制,設(shè)備搭載伺服電機(jī)控制的機(jī)械手臂,定位準(zhǔn)確,手臂提供上下及旋轉(zhuǎn)功能,可同時(shí)運(yùn)... MORE +
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清洗處理機(jī)
工藝流程:入板 → 除油 → 溢流水洗(1)(2)(3) → 清水洗 → 微蝕 → 溢流水洗(4)(5)→ 酸洗 →溢流水洗(6)(7)(8)→ DI水洗 → 干板組合 → 出板
規(guī)格:(可客制) 設(shè)備外尺寸: 11640mm(L) * 1726mm(W) *2500±25mm(H) (產(chǎn)速與設(shè)備長度大致成正比)
PCB板規(guī)格: (可客制) [最大] 610 mm * 610 mm [最小] 200 mm * 200 mm ... MORE +
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