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半自動晶圓腐蝕清洗機
半自動晶圓腐蝕清洗機
工藝說明
非標訂制設(shè)備,全機PP滿焊接完成;
手臂可同時兼容4寸 ,6寸,8寸,12寸花藍
制程工藝:三酸(鎳刻蝕硫,酸,BOE),三水(QDR*3)或根據(jù)要求定制
此臺設(shè)備為半自動設(shè)備,由人員上下料,顆粒清洗則由設(shè)備自動運行;
控制系統(tǒng)由PLC控制,設(shè)備搭載伺服電機控制的機械手臂,定位準確,手臂提供上下及旋轉(zhuǎn)功能,可同時運行在四個槽體之間,實現(xiàn)自動運行功能.全自動,半自動,手動可定制
可實現(xiàn)與客戶端MES系統(tǒng)對接
設(shè)備可搭載進口或國產(chǎn)全自動消防系統(tǒng) 。
應(yīng)用領(lǐng)域
集成電路,光電產(chǎn)業(yè),新能源汽車,PC電腦,5G通訊,航天電子,移動通訊,光伏發(fā)電
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清洗處理機

產(chǎn)品特點


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