等離子體是正離子和電子的密度大致相等的電離氣體。由離子、電子、自由激進分子、光子以及中性粒子組成，是物質(zhì)的第四態(tài)。在等離子體中除了氣體分子、離子和電子外，還有存在受到能量激勵狀態(tài)電中性的原子或原子團(又稱自由基)，以及等離子體發(fā)射出的光線，其中波的長短、能量的高低,在等離子體與物體表面相互作用時有著重要的作用。 （1）原子團等自由基與物體表面的反應（2）電子與物體表面的作用（3）離子與物體表面的作用（4）紫外線與物體表面的反應

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